나노반도체장비 원천기술상용화사업 2007년도 신규과제 개발사업자 선정 공고

작성자 : 지원대 작성일 : 2007-08-09 오전 10:11:20 조회수 : 6

산업자원부 공고 제 2007 - 287호 나노반도체장비 원천기술상용화사업 2007년도 신규과제 개발사업자 선정 공고 국내 반도체산업 경쟁력 강화 및 반도체장비 업계 육성을 위하여 2007년『나노반도체장비 원천기술상용화사업』신규과제를 다음과 같이 공고하오니, 해당 기술을 개발하고자 하는 경우 신청 요령에 따라 기술개발사업 계획을 신청하여 주시기 바랍니다. 2007년 8월 8일 산업자원부장관 1. 사업개요 ○ 2015년 반도체장비 국산화율 50% 달성 기반마련을 위하여 45~22 나노급 차세대 반도체 제조장비를 상용화하는 사업 - 원천기술 개발에서 발굴, 상용화까지 이어지는 개발 프로그램임 ○ 총 사업기간 : Ⅰ단계 2007. 10. ~ 2009. 9. (2년), Ⅱ단계 2009. 10 ~ 2012. 9 (3년) - 당해년도 사업기간 : 2007. 10 ~ 2008. 9 (1년) - 과제별 연구기간 : 2~5년 (과제별 내역은 홈페이지 또는 사업설명회 자료집 참조) · 지정과제 : 2～5년, 자유응모과제 : 2년 ○ 과제 구분 - 상용화 과제 : 장비 상용화를 목표로 신제품 개발 및 응용개발을 진행하는 과제 - 원천기술개발 과제 : 다수의 기업이 활용할 수 있는 핵심원천기술 및 공통애로기술의 개발·확보를 위한 선행연구 과제 2. 사업추진체계 ○ 총괄관리기관 : 중장기 종합계획 수립, 협약체결, 세부사업의 총괄관리 등 역할 수행 ○ 평가 전담기관 : 세부사업 평가 및 세부과제의 선정, 연차, 최종평가 수행 ○ 주관기관 : 세부과제의 실질적 연구 수행 ○ 참여기업 : 기술개발결과를 사용할 목적으로 참여하는 기업 ○ 위탁기관 : 세부주관기관으로부터 위탁받은 사항에 대한 기술개발사업을 수행하는 비영리 기관 3. 연구지원분야 구분 과제명 사업 기간 정부출연금(안) (연간) 지 정 공 모 증착장비 상용화 차세대 high-k 유전막 및 전극 증착장치 2년 10억원 내외 극저온 SiO/SiN 박막 증착 장치 2년 10억원 내외 Low-k 증착장비 2년 10억원 내외 Plasma를 이용한 oxidation 및 Nitrogen Surface Doping 2년 10억원 내외 Selective Epi, SiC, SiGe 증착 장치 2년 10억원 내외 원천기술 개발 32nm 이하 고단차비 구조(STI, ILD) Gap Fill oxide 형성 2년 6억원 내외 PRAM용 GST(Ge/Sb/Te) 증착용 ALD 장비 2년 6억원 내외 하이퍼써멀 중성화빔을 이용한 절연체 박막형성 2년 6억원 내외 식각장비 상용화 32nm급 Oxide etcher 3년 10억원 내외 CMP 장비 2년 10억원 내외 저비용/고생산성 Spacer etcher 2년 10억원 내외 Low-k etcher 및 Strip 기술 2년 10억원 내외 Hard mask etcher 2년 10억원 내외 원천기술 개발 중성빔을 이용한 damage free etcher 2년 6억원 내외 검사장비 상용화 3.2Gbps 고속도 메모리 테스터 장비 2년 10억원 내외 자유공모 원천기술 개발 자유 응모 2년 과제당 2억원 내외 (4개 내외) ※ 기술제안서(RFP)는 인터넷 홈페이지 http://www.cosar.or.kr, http://www.itech.go.kr 또는 http://www.itep.re.kr 참조 ※ 사업비(안)은 년간 정부지원금 규모이며, 평가에 의해서 조정 가능함 ※ 지정공모과제는 예산 규모대비 약 1.2배수 기획되었으므로, 단독지원이라 하더라도 평가점수가 60점 미만과제는 지원 제외함 ※ 지정공모과제 중 원천기술개발 과제는 2년 수행후 평가를 통해 상용화과제(+3년)로 전환 추진함 4. 지원내역 ○ 정부출연금 지원 조건 주관기관 유형 기술개발형태 정부출연금 지원비율 비고 중소기업 벤처기업 공동기술개발(산학, 산연, 산학연, 기업간) 3/4이내   단독기술개발 1/2이내   기타(대기업, 연구소, 대학) 공동기술개발(산학, 산연, 산학연, 기업간) 2/3이내 주1) 단독기술개발 1/3이내   주1) 상기 정부출연지원비율과 관련, 주관기관 유형 및 기술개발 형태가 기타(대기업, 연구소, 대학 등), 공동 기술개발에 해당하더라도 참여기업이 2개 미만이거나 참여기업중 중소기업 비율이 3분의 2 미만인 경우에는 정부출연금 지원 비율이 2분의 1이내임 ※ 단, 원천기술개발 과제는 총 사업비의 100%이내까지 정부출연금을 지원 ○ 민간 부담 현금은 연차별 합계 금액에 대하여 1차년도 10%, 2차년도 15%, 3차년도 20%, 4차년도 20% 이상을 부담하여야 함 - 단, 주관기관이 중소기업인 경우 민간부담 현금은 연차별 차수와 상관없이 연차별 합계 금액의 10%이상으로 함 5. 신청 자격 ○ 주관기관 - 원천기술개발 과제 : 비영리기관 - 상용화 과제 : 정부출연연구기관, 국공립연구기관, 전문생산기술연구소, 연구조합, 대학, 기업, 사업자단체, 기타 산업기술혁신촉진법의 규정에 의한 산업기술개발사업 실시기관 ○ 위탁기관 : 비영리기관 ○ ‘비영리기관’이라 함은 아래의 기관을 말함 - 국·공립연구기관 - 정부출연연구기관 등의 설립·운영 및 육성에 관한 법률에 의한 정부출연연구기관 - 특정연구기관육성법에 의한 특정연구기관 - 고등교육법에 의한 대학·산업대학·전문대학 또는 기술대학 - 산업기술기반조성에 관한 법률에 의한 전문생산기술연구소 - 기타 산업자원부장관이 인정하는 비영리 연구기관 6. 신청서 교부 및 접수 ○ 신청서 교부기간 : 2007. 8. 8(수) ~ 8. 28(화) 파일 1 : 사업계획서 파일 2 : RFP (증착분야) 파일 3 : RFP (식각분야) 파일 4 : RFP (검사분야) 파일 5 : 산업기술분류표 파일 6 : 사업비 비목별 계상 기준 파일 7 : 정량적 목표 항목의 성능지표 파일 8 : 참여기업/위탁기관 대표의 참여의사 확인서 파일 9 : 신청과제의 인터넷 전산 등록 안내 파일10 : 나노반도체장비원천기술상용화사업 관리지침 파일11 : 단기핵심기술개발사업 관리지침 ○ 신청서 접수 : 2007년. 8. 20(월) ~ 8. 28(화) - 양식 교부 및 접수안내 : 산업기술지원 홈페이지 (http://www.itech.go.kr) - 인터넷(http://www.itech.go.kr) 으로 전산양식에 등록하여 접수번호를 부여 받은 후 전산 접수증, 사업계획서 11부(원본1부 포함) 및 기타 첨부서류를 우편 또는 직접 제출 (마감일 18시까지 도착분에 한함) ※ 우편으로 제출시에는 표지에 과제번호, 신청과제명, 신청기관명, 실무담당자 연락처를 필히 기재 - 제출된 서류는 일체 반환하지 않음 - 접수처 : 산학연구지원과 조혜연(tel: 950-6086) ○ 문의처 - 총괄관리기관 : 한국반도체연구조합 전재민 대리 (02-570-5261) - 사업내용 문의 - 평가전담기관 : 한국산업기술평가원 단기평가실 김병재 연구원(02-6009-8135) - 전산접수 문의 7. 주요 일정 ○ 사업설명회 : 2007년 8월 13일(월) 14시 / aT센터 3층 중회의실 (서울 양재 所在) ○ 서류심사 및 발표평가 : 9월 초 ○ 협약 및 사업시작 : 10월 1일 8. 선정절차 및 유의사항 ○ 과제별로 최종평가 결과 “성공”으로 평가될 경우, 기술개발종료 시점에서 정부출연금의 일부를 아래와 같이 정액기술료로 납부하여야 함 주관기관 유형 세부 구분 정액기술료율 기업 대기업 총 지원 정부출연금의 40% 중소기업 총 지원 정부출연금의 20% 기타(대학, 연구소, 사업자단체 등) 중소기업의 민간부담금이 총 민간부담금의 50% 이상 총 지원 정부출연금의 20% 중소기업의 민간부담금이 총 민간부담금의 50% 미만 총 지원 정부출연금의 40% * 단, 원천기술개발과제는 기술료를 징수하지 않음 ○ 다음의 경우는 지원대상에서 제외함   - 신청과제가 공고된 과제제안요구서(RFP)의 목표 및 내용에 해당하지 않는 경우 * 자유응모과제의 경우 한국산업기술평가원 홈페이지(www.itep.re.kr) 및 국가연구개발사업 종합관리시스템(www.kordi.go.kr) 등에서 사전에 중복성을 검색하신 후 신청서 제출 요망 - 주관기관이 공고일 현재 창업(사업자등록증 기준)한지 1년 미만의 기업인 경우 - 신청과제의 주관책임자가 접수마감일 현재 정부출연연구과제(타 부처사업 포함)를 3개 이상 책임자로 수행하고 있는 경우 또는 참여연구원으로 5개 이상(책임자 수행과제 포함) 수행하고 있는 경우 (잔여연구기간이 6개월 미만인 과제는 제외) - 주관기관, 참여기업, 주관책임자 등이 접수마감일 현재 각종 보고서 제출, 기술료 납부, 기술료 납부계획서 제출, 정부출연금 정산 잔액 및 환수금 납부 등의 의무사항을 불이행한 경우 - 주관기관, 주관기관장, 참여기업, 참여기업대표, 주관책임자 등이 접수마감일 현재 국가연구개발사업에 참여제한 중인 경우 - 주관기관, 주관기관장, 참여기업, 참여기업대표, 주관책임자 등이 아래의 기준에 해당되는 경우 ① 기업의 부도 ② 금융기관 등의 채무불이행자 ③ 법정관리, 화의기업(단, 법원의 화의 및 회사정리인가 결정을 받은 후 법원에 제출한 회의계획안 또는 정리계획안의 채무변제 계획을 정상적으로 이행하는 업체는 예외) ④ 최근년도말 부채비율이 500% 이상 ⑤ 최근년도말 유동비율이 50% 이하 ⑥ 완전자본잠식 ⑦ 외부감사 기업의 경우 최근년도 감사의견이 ‘의견거절’ 또는 ‘부적정’ ※ 사업추진과 관련하여 본 공고에서 정하지 아니한 사항은 『나노반도체장비원천기술상용화사업관리지침』을 적용